本报记者 孙业文
本报通讯员 栾中铭
近日，山东天岳先进科技股份有限公司(以下简称“天岳先进”)正式在香港联交所主板挂牌上市，成为两市唯一“A+H”上市的碳化硅衬底公司。
天岳先进成立于2010年，专注于碳化硅半导体材料研发与生产，于2022年1月12日在上交所科创板上市，是全球少数能够实现8英寸碳化硅衬底量产、率先实现2英寸到8英寸碳化硅衬底的商业化公司之一，也是率先推出12英寸碳化硅衬底的公司。本次上市后，天岳先进完成了国内外半导体产业布局，产业发展龙头效应进一步增强。
“天岳先进是我们的上游企业，现在部分产品正在用它生产的第三代碳化硅衬底进行测试。”济南晶芯半导体有限公司董事长王琮介绍，公司于2024年2月迁入济南槐荫经济开发区，考量的最重要因素就是园区内有一家能够量产碳化硅衬底的企业。
“这款射频能量发射是美容仪的核心部件，用的是我们自研的射频芯片，性能可达到国内领先水平。”王琮向记者展示了一个巴掌大小的长方体银色盒子，他指着里面密密麻麻的芯片说，“这款产品刚为我们拿下了海外的上千万大单。”
“我们以碳化硅为衬底，在其表面做一层氮化镓外延，然后运用专业芯片设计与封测技术进行产品研发。”王琮说，公司在射频微波芯片、IPD无源器件等领域的研发和生产取得显著进展，不少相关产品已经进入试验阶段，“今年企业产值明显提升，去年500万元，今年已超2000万元。”
元山(济南)电子科技有限公司是槐荫经济开发区内的另外一家半导体企业。走进企业生产车间内，一条车规级碳化硅功率模组量产生产线正在紧张测试中，整个生产过程实现了智能自动化。
“这条线的年产能可满足40万辆新能源汽车使用，生产能力相比过去提升了10倍不止。”元山电子运营负责人李媛介绍，碳化硅功率模组具有耐高压、耐高温、传导性强的特点，使用寿命更长，充电速度快的同时还省电，从而大大提升了汽车的行驶里程。
作为山东天岳碳化硅产业链引进孵化的企业，元山电子专业从事碳化硅功率模组的研发与产业化，目前其研发的碳化硅模块已广泛应用于新能源汽车电驱、光伏逆变器、工业电源等场景，性能达到国际先进水平。
7月31日，山东力冠微电子装备有限公司正式宣布，其自主研发的首款12英寸(300mm)立式炉设备成功投入市场。
“它的成功研发与推出，不仅丰富了山东力冠在半导体前道设备领域的产品线，更直接响应了当前国内半导体产业链对设备本土化的迫切需求。”山东力冠负责人表示，这款设备不仅仅是一款新产品，更是公司在高端半导体热处理设备领域取得的又一重大突破。
上游企业有力冠微电子、格瑞半导体等致力于高端半导体专用设备的研发与生产;中游企业有晶芯半导体、用新电子等，专注于射频微波芯片封测领域;下游企业有元山电子、凯为科技等，其产品覆盖新能源汽车、光伏发电全功率谱系……如今，在龙头企业天岳先进的带动下，济南槐荫经济开发区已经集聚链上企业50余家，形成了“材料-装备-设计-封测-应用”的闭环式产业链条。 |
