通讯员 苏滨 淄博报道
淄博高新区与清华大学合作共建的国家MEMS(微机电系统)研究院产业化基地一角
一枚小器件如何成就电子信息产业的大发展?记者在山东淄博高新区MEMS(微电子机械系统)产业园找到了答案。MEMS是指结构尺寸在微米量级的，由微机械机构、微执行器、微集成电路、微传感器等器件组成的智能传感微系统，以体积小、功耗低、灵敏度高等优点，成为智能终端的核心交互器件，可广泛应用于航空航天等高新技术产业。
淄博高新区MEMS产业园可以提供围绕MEMS芯片、集成电路和半导体化合物等产业链上的研究、设计、制造、封装、测试和应用等技术服务和发展。目前，已有90余家企业入园发展，IC卡封装测试和医院智能护理通信领域的产能及销量居全国首位。一枚小小的芯片让淄博市电子信息产业发展处于领先状态，未来淄博将着力打造全球领先的国际化MEMS产业示范基地和千亿级产业园区。
“芯”机遇 院士带动产业高速发展
“MEMS产业本身就是信息产业的一个重要发展方向，也是传感器和智能微系统行业颠覆性技术。”中国工程院院士、清华大学副校长尤政在接受记者采访时表示。2010年，淄博高新区与清华大学机械工程学院成立MEMS产业研究院，共同搭建MEMS中试代工平台、打造微系统产业化基地，引领国内MEMS器件产业化进程。
目前，已有90余家企业入驻MEMS园区，IC卡封装测试和医院智能护理通信领域的产能及销量居全国首位
在淄博高新区电子信息产业园的展厅内，记者看到了MEMS研究院自主研发的三款芯片，MEMS陀螺仪实现了原有两斤重的传统机械陀螺仪的所有功能，它的芯片只有绿豆大小，但是探测触角却精准到纳米级，达到了国际先进水平。
近年来，淄博始终与MEMS产业“新”“芯”相印，把MEMS产业作为做大做强电子信息产业的主攻方向来抓。2018年、2020年淄博高新区举办的两届MEMS产业发展高峰论坛，成为了MEMS领域内的盛会，国内MEMS领域顶尖的技术专家、知名企业家、投资机构负责人等150余人参加论坛，共商MEMS产业发展。
自2018年首届论坛以来，淄博高新区MEMS产业发展呈现爆发式增长，每年产业产值增速均超30%，汽车MEMS陀螺、压电陶瓷MEMS器件、溅射薄膜工艺(淄博)协同创新中心项目等高端产业项目落地园区，形成了集MEMS芯片设计研发、工艺加工、封装测试、产品应用等为一体的综合性研发产业基地，MEMS芯片产业已经成为引领区域高质量发展的“芯”动能。
“芯”动能 布局生态链培育领军企业
“淄博的产业布局在不断向信息化、自动化的方向发展，MEMS产业发展将在淄博未来发展中占据非常重要的位置，也将发挥更大的作用。”中国工程院院士、清华大学副校长尤政在今年5月22日至23日举行的第二届中国(淄博)MEMS产业发展高峰论坛上，对近年来淄博的MEMS产业发展和投资环境给予了充分肯定。
由12名国际知名MEMS专家组成的淄博高新区MEMS研究院专家委员会
栽下梧桐树，引来金凤凰。近年来，淄博高新区不断布局MEMS产业生态全链条，MEMS园区6英寸的生产制造平台为企业提供研发支持，MEMS专家委员会为企业提供技术方面的支持，产业加速器为企业提供小批量化、专业化的支持，园区成立的半导体基金为企业提供资金方面的支持，“淄博高新区盯紧整个MEMS产业链，本着打造生态沿链聚集的方式，为入驻MEMS园区的企业提供全生态的服务，让企业拎包入驻，发展无后顾之忧。”淄博高新区电子信息产业园管委会主任牟向峰告诉记者。
目前，MEMS产业园已有6个高端产业项目和90余家企业入园发展，“这里的资源和政策对我们企业的发展和新产品的开发营造了一个非常好的沃土。”山东佰测传感科技股份有限公司是首批入驻MEMS产业园的企业，总经理丁立新说，选择落户淄博高新区MEMS产业园，正是看中了MEMS研究院的科技优势，以及淄博高新区雄厚的产业基础和完备的产业链条。
MEMS产业园正在形成良好的产业生态体系，这里将聚集更多MEMS产业链企业，并向全国辐射。
“芯”未来 开启推动产业升级强力引擎
MEMS展厅内展示的园区企业产品
在今年2月份的淄博市重大项目集中开工仪式上，北京绿能芯创碳化硅芯片项目尤为引人瞩目，该项目建设的6吋碳化硅芯片生产线，总投资20亿元，是世界第三条，也是国内第一条达到量产规模的碳化硅芯片产线。
“作为科技型企业，我们最关心的就是投资环境，在淄博考察后发现淄博高新区的相关配套设施，上下游产业、资金以及各方面的人才扶持政策都非常到位，这是我们落户淄博的最主要原因。”淄博绿能芯创电子科技有限公司董事长陈本昌对记者说，目前该项目正在建设当中，预计今年年底将投入生产，投产后，产值可达到30亿并联合国内的上下游企业、高校院所等单位，辐射国内，带动超过千亿的产业链。
建筑面积33.5万平米的MEMS产业基地二期项目正在建设当中
目前，建筑面积33.5万平米的MEMS产业基地二期项目正在建设当中，共建设6栋厂房，1、2号厂房今年7月底已经竣工，剩余厂房将于今年年底前竣工。已签约的新科实业(TDK)、绿能芯创、宏荣电子、深圳麦姆斯、思科莱斯、航天四十四所等6个高端产业项目即将入驻，预计项目建成后可实现年产值232亿元。
建成后的MEMS产业园将成为淄博现代信息产业的聚集区，成为集MEMS器件设计、制造、封装、测试、系统应用于一体的国内一流产、学、研、用结合的新产业生态，打造全球领先的国际化MEMS产业示范基地和千亿级产业园区，成为推动淄博产业升级的强力引擎。 |
